Linde 半導体スパッタリングターゲット
世界の半導体メーカーに販売している実績!
各装置メーカーとの連携で高い信頼性!
実験用から300mmまで幅広く対応!
![]() Ta EnCoRe(300mm) | ![]() Cu EnCoRe(300mm) | ![]() Ni/Pt ALPS ESI(300mm) |
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Advantage Ta and Standard Ta: 4N5 Cu: 6N,5N AL Alloy: 5N,5N5 Ti: 4N5,5N Smart W: 5N Low Permeabillity Ni: 4N8 Low Permeabillity Co: 5N NiPt,Ni/V,CuCr,Ti/W,etc | 左記以外の種類の
ターゲットも
製作が可能です。
お問合せ下さい!! |