SEM（走査型電子顕微鏡）／EDS（エネルギー分散型X線分析計）

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分析評価
【測定ガス】
  ■表面状態の解析
  ■表面の組成（元素）分析

【用途】
  ■ガス供給部材のトラブル解析評価
  ■微細加工製品の観察
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